[发明专利]极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法

摘要

极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，属于光学及精密加工领域。以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底。按照此方案的技术，要求加工过程中精度控制非常严格，增加了加工成本的问题。方法是：装卡收集镜筒坯1；精车加工中的粗车加工；半精车加工；精车加工；镀膜处理；手工抛光处理；对经镀膜处理后的收集镜筒坯面型手工抛光处理，使得收集镜筒坯的面型符合收集镜面型，从而完成收集镜的制作。本发明用于加工制作极紫外光刻光源中的光学收集镜。

主权项

一种极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，其特征在于：所述方法包括下述步骤：第一步：装卡收集镜筒坯（1）；首先装卡好经粗车加工后的收集镜筒坯（1），收集镜筒坯（1）的面型由双曲面和椭球面构成，校正收集镜筒坯（1），保证跳动值在0.1～0.5mm范围内；第二步：精车加工中的粗车加工；利用精加工车床对收集镜筒坯（1）进行精车加工中的粗车加工，每次进刀0.04～0.06mm，加工次数为3～4次；第三步：半精车加工；利用精加工车床（2）对第二步中的粗车加工后的收集镜筒坯（1）进行半精车加工，精加工车床主轴转速为480～520r/min，共进两刀，第一刀每次进刀7～9μm，进刀速度为18～22mm/min；第二刀每次进刀4～6μm，进刀速度为18～22mm/min；第四步：精车加工；利用精加工车床（2）对经第三步完成的半精车加工的收集镜筒坯（1）进行精车加工，进刀1～3μm，进刀速度为1～3mm/min；第五步：镀膜处理；对第四步精车加工后的收集镜筒坯（1）进行镀膜处理，镀膜厚度为50μm；第六步：手工抛光处理；对经镀膜处理后的收集镜筒坯（1）面型手工抛光处理，使得收集镜筒坯（1）的面型符合收集镜面型，从而完成收集镜的制作。