[发明专利]基板分断装置无效
申请号: | 201310437088.9 | 申请日: | 2013-09-17 |
公开(公告)号: | CN103803787A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 成尾彻 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本大阪府*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是有关于一种基板分断装置,设置有:刻划装置D,在脆性材料基板W的表面形成刻划线;搬送机构E,将已刻划的基板W往吸附反转机构G移送;吸附反转机构G,具备通过旋转轴28而形成为可上下反转的吸附板29,且进一步从搬送机构E取置基板W并使其上下反转而载置于裂断装置F的平台15;以及裂断装置F,对从吸附反转机构G取置的基板W进行裂断;吸附反转机构G的吸附板29的旋转轴28,在与基板W的搬送方向大致正交的方向延伸设置于吸附板29的端部,在以该旋转轴28为支点使吸附有基板W的吸附板29反转,以可将已反转的基板W载置于裂断装置F的平台15上的方式,将旋转轴28往裂断装置F的平台15附近配置。 | ||
搜索关键词: | 基板分断 装置 | ||
【主权项】:
一种基板分断装置,其特征在于:设置有:刻划装置,以依序搬送脆性材料基板的主路径为第1方向,在该主路径的途中,在脆性材料基板的表面形成刻划线;搬送机构,将借由刻划装置形成有刻划线的该脆性材料基板从该刻划装置的平台往下述吸附反转机构移送;吸附反转机构,具备通过旋转轴而形成为可上下反转的吸附板,且从该搬送机构将该脆性材料基板取置于该吸附板上并使其上下反转,将反转后的该脆性材料基板载置于下述裂断装置的平台;以及裂断装置,对从该吸附反转机构接受的该脆性材料基板沿着该刻划线进行裂断;该吸附反转机构中的该吸附板的该旋转轴,沿着与该第1方向大致正交的方向延伸设置于该吸附板的端部,在以该旋转轴为支点使吸附有该脆性材料基板的该吸附板反转后,以可将反转后的该脆性材料基板载置于该裂断装置的平台上的方式,将该旋转轴配置于该裂断装置的平台附近位置。
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