[发明专利]一种氢化铍材料的制备方法及装置有效
| 申请号： | 201310441492.3 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103482571A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 罗江山;张吉强;吴卫东;罗炳池;李恺;何玉丹 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C01B6/04 | 分类号： | C01B6/04 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氢化铍材料的制备方法及装置。所述的装置是通过对低压氢等离子体约束后形成的活性氢原子射流，诱导二叔丁基铍气体分子气相裂解生成气态氢化铍分子，然后氢化铍分子碰撞聚合成氢化铍薄膜或粉末。由于活性氢原子能将二叔丁基铍分子中的Be-C键断裂，而对C-C键没有明显影响，且氢原子相对于铍原子显著过量，采用该制备方法及装置可以获得纯度较高的氢化铍材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢化 材料 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种氢化铍材料的制备方法，其特征在于：所述的方法依次包括以下步骤：(a) 低压氢气在射频电感耦合放电条件下产生氢等离子体；(b) 对氢等离子体进行约束，获得活性氢原子射流；(c) 将活性氢原子和二叔丁基铍蒸汽导入混合反应腔碰撞反应，活性氢原子诱导二叔丁基铍分子气相裂解并生成气态氢化铍分子；(d) 气态氢化铍分子碰撞聚合成固态氢化铍材料。
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