[发明专利]透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置

摘要

透镜X、Y、θ_Z三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决现有技术光学元件X、Y、θ_Z三自由度微动调整装置加工工艺难度大、加工成本高的问题，该装置包括透镜、镜框和三个驱动器，所述镜片与镜框之间通过胶粘的方式连接，所述三个驱动器固定在镜框上，其特征在于，所述镜框为镜框内环、镜框外环和三处周向均布的折叠铰链组成的一体化结构，所述镜框内环上周向均布有三处驱动器施力块，所述透镜与镜框内环之间通过胶粘的方式连接；所述三个驱动器固定在镜框外环上，驱动器的输入位移作用在对应的驱动器施力块上；所述折叠铰链由切向弹片和径向弹片组成，所述切向弹片与镜框内环相连，所述径向弹片与镜框外环相连。

主权项

透镜X、Y、θ_Z三自由度微动调整装置，包括透镜(1)、镜框(2)和三个驱动器(3)，所述透镜(1)与镜框(2)之间通过胶粘的方式连接，所述三个驱动器(3)固定在镜框(2)上，所述镜框(2)为镜框内环(2‑1)、镜框外环(2‑2)和三处周向均布的折叠铰链(2‑3)组成的一体化结构，所述镜框内环(2‑1)上周向均布有三处驱动器施力块(2‑1‑1)，所述透镜(1)与镜框内环(2‑1)之间通过胶粘的方式连接；所述三个驱动器(3)固定在镜框外环(2‑2)上，驱动器(3)的输入位移作用在对应的驱动器施力块(2‑1‑1)上；其特征在于，所述折叠铰链(2‑3)由切向弹片(2‑3‑1)和径向弹片(2‑3‑2)组成，所述切向弹片(2‑3‑1)与镜框内环(2‑1)相连，所述径向弹片(2‑3‑2)与镜框外环(2‑2)相连。