[发明专利]具有多次反射真空紫外光电离源的质谱分析仪

摘要

本发明涉及具有多次反射真空紫外光电离源的质谱分析仪。包括光电离腔体、差分腔体和质谱腔体；光电离腔体内设有由真空紫外光源、推斥电极和聚焦电极组成的真空紫外光电离源；差分腔体内设有离子光学系统，质谱腔体内设有质量分析器；推斥电极和聚焦电极相对应的侧面为圆锥面或圆弧面，推斥电极的圆锥面或圆弧面上和聚焦电极的圆锥面或圆弧面上分别镀有反射层，反射层材料为金或铝或铱。使来自于真空紫外光源的出射光可在推斥电极和聚焦电极之间多次反射，增加了待测物的电离几率，从而使电离效率提高2～6倍以上，大大提高了检测样品的灵敏度，在一些微量气体成分和挥发物的实时、在线监测中有着广泛的应用前景。

主权项

具有多次反射真空紫外光电离源的质谱分析仪，包括箱体，箱体内依次设有光电离腔体、差分腔体和质谱腔体，光电离腔体、差分腔体和质谱腔体上均分别开设有真空泵接口；所述光电离腔体内设有真空紫外光电离源，所述真空紫外光电离源包括真空紫外光源、推斥电极和聚焦电极，推斥电极的中部和聚焦电极的中部均开设有通孔，且同轴；光电离腔体的侧壁上设置有毛细管，毛细管的一端位于光电离腔体的外部，另一端位于推斥电极和聚焦电极之间；所述差分腔体内设有离子光学系统，所述质谱腔体内设有质量分析器；所述光电离腔体和差分腔体之间设有第一取样锥，所述差分腔体和质谱腔体之间设有第二取样锥；其特征在于：推斥电极和聚焦电极相互对应的侧面均为喇叭状的圆锥面或圆弧面，推斥电极的通孔处为圆锥面或圆弧面的小直径端，聚焦电极的通孔处为圆锥面或圆弧面的小直径端；推斥电极的圆锥面或圆弧面上和聚焦电极的圆锥面或圆弧面上分别镀有反射层，使来自于真空紫外光源的出射光可在推斥电极和聚焦电极之间多次反射。