[发明专利]模压成型模具及其制造方法以及玻璃光学元件的制造方法有效
| 申请号： | 201310445292.5 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103708708A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 小林巧;西村法一;田中祐辅;山本英明;诸石圭二 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | C03B11/08 | 分类号： | C03B11/08;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供模压成型模具、其制造方法及使用其的玻璃光学元件的制造方法。模压成型模具的制造方法能够成型出外观缺陷少的透镜，模压成型模具具有包含由薄膜形成装置成膜出的碳膜的离型膜。该制造方法为具有离型膜的模压成型模具的制造方法，该离型膜包含碳膜，该碳膜通过下述方式成膜，即：利用真空电弧放电在碳阴极上生成碳等离子体，从碳等离子体中只取出离子化后的碳，将所述离子化后的碳照射到被成膜面上而成膜，该制造方法包括：在被成膜面上一边施加第1偏置电压V1（V）一边成膜出厚度为d1（nm）的第1碳膜的工序；以及在第1碳膜上一边施加第2偏置电压V2（V）一边成膜出形成最外层的厚度为d2（nm）的第2碳膜的工序，所述第1和第2偏置电压V1、V2以及所述厚度d1、d2满足V1>V2且d1>d2。 | ||
| 搜索关键词： | 模压 成型 模具 及其 制造 方法 以及 玻璃 光学 元件 | ||
【主权项】：
一种具有离型膜的模压成型模具的制造方法，该离型膜包含碳膜，该碳膜通过下述方式成膜，即：利用真空电弧放电在碳阴极上生成碳等离子体，从所述碳等离子体中只取出离子化后的碳，将所述离子化后的碳照射到被成膜面上而成膜，其中，该制造方法包括：在被成膜面上一边施加第1偏置电压V1一边成膜出厚度为d1的第1碳膜的工序；以及在所述第1碳膜上一边施加第2偏置电压V2一边成膜出形成最外层的厚度为d2的第2碳膜的工序，所述第1偏置电压V1和所述第2偏置电压V2以及所述厚度d1、所述厚度d2满足V1>V2且d1>d2。
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