[发明专利]全息变间距光栅曝光光路的装调装置

摘要

全息变间距光栅曝光光路的装调装置，属于光谱技术领域，为解决现在全息变间距光栅曝光系统装调过程中，测量难度大、精度低的问题，包括检测光源与光栅基底夹持检测平台；所述检测光源用于提供两支相干平行光；由激光器、入射光纤准直镜、Y型单模光纤、第一出射光纤准直镜和第二出射光纤准直镜组成，激光器产生的激光，通过入射光纤准直镜会聚进入Y型单模光纤，激光从Y型单模光纤出射后经第一出射光纤准直镜与第二光纤准直镜后成平行光；所述基底夹持检测平台用于产生参考光，并记录待测光与参考光的干涉条纹，由底座、角度盘、定位槽、微调滑块、摆臂、管夹、扩束镜、半透半反镜和CCD相机、立柱、一维调整卡具和自动定心镜架组成。

主权项

全息变间距光栅曝光光路的装调装置，其特征是，包括检测光源与光栅基底夹持检测平台；所述检测光源用于提供两支相干平行光；由激光器（1）、入射光纤准直镜（2）、Y型单模光纤（3）、第一出射光纤准直镜（4）和第二出射光纤准直镜（5）组成，激光器（1）产生的激光，通过入射光纤准直镜（2）会聚进入Y型单模光纤（3），激光从Y型单模光纤（3）出射后经第一出射光纤准直镜（4）与第二光纤准直镜（5）后成平行光；所述基底夹持检测平台用于产生参考光，并记录待测光与参考光的干涉条纹，由底座（6）、角度盘（7）、定位槽（8）、微调滑块（9）、摆臂（11）、管夹（12）、扩束镜（13）、半透半反镜（14）和CCD相机（15）、立柱（16）、一维调整卡具（17）和自动定心镜架（18）组成；角度盘（7）水平设置在底座（6）上，角度盘（7）的边缘设定位槽（8），角度盘（7）的圆心位置设置转轴；定位槽（8）内设置微调滑块（9）；摆臂（11）可卡在微调滑块（9）上，微调滑块（9）可带动摆臂（11）沿定位槽的圆弧微小移动；摆臂（11）呈“L”字型，一端设置CCD相机（15），另一端从外端至内依次设置管夹（12）、扩束镜（13）和半透半反镜（14）；第一出射光纤准直镜（4）可固定在在管夹（12）上，产生的平行光经扩束镜（13）后指向半透半反镜（14）中心，再经半透半反镜（14）反射后射向CCD相机（15）；CCD相机（15）的物平面在角度盘（7）中轴上方；立柱（16）固定在底座（6）之上，立柱（16）上设置一维调整卡具（17）；一维调整卡具（17）另一端固定自动定心镜架（18），光栅基底将固定在自动定心镜架（18）上；自动定心镜架（18）的中轴指向角度盘（7）正向，并与角度盘中心轴相交；扩束镜（13）、半透半反镜（14）、CCD相机（15）和自动定心镜架（18）中心的水平高度相同。