[发明专利]一种基于超疏水表面的电润湿微流体装置

摘要

本发明公开了一种基于超疏水表面的电润湿微流体装置，主要包括了一个微流体操控下基板和一个上基板，所述下基板表面具有微纳米双重结构；微米结构为条状结构，其表面均匀覆盖一层导电层，该导电层表面覆盖一层疏水介质层；纳米结构位于微米结构底部间隙，其表面也覆盖一层疏水介质层；所述下基板具有超疏水特性；所述上基板内表面覆盖一组并排的电极阵列，该组电极排列方向与下基板条状结构相互垂直，且相邻电极之间间隔很小，电极表面覆盖一层疏水介质层。本发明提供的电润湿微流体装置的下基板表面提供了较好的流体减迟滞特性，同时具备了电润湿功能，可结合超疏水表面和电润湿技术的双重优势，实现具有强驱动能力、弱迟滞特性的微流体装置。

主权项

一种基于超疏水表面的电润湿微流体装置，其特征在于：包括一个微流体操控的下基板（12）、一个微流体操控的上基板（11）、以及位于下基板（12）和上基板（11）之间的微流体腔（10），所述下基板（12）的上表面上设置有微纳米双重结构；所述微纳米双重结构中的微米结构包括并排间隔布置在下基板（12）上表面上的一组微米级条状结构（16），所述条状结构（16）的表面覆盖有一层导电层（18），所述导电层（18）的表面覆盖有一层疏水介质层（19）；所述微纳米双重结构中的纳米结构包括布置在下基板（12）上表面上的纳米级结构阵列（17），所述结构阵列（17）的表面覆盖有一层疏水介质层（19），所述结构阵列（17）布置在相邻条状结构（16）的间隙之间；所述下基板（12）上表面的裸露处覆盖有一层疏水介质层（19）；所述上基板（11）的下表面覆盖有一层疏水介质层（19），在上基板（11）和其上覆盖的疏水介质层（19）之间并排间隔布置有一组电极（15），所述电极（15）的长度方向取向和条状结构（16）的长度方向取向相垂直。