[发明专利]磁传感装置及其制备方法

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置及其制备方法，所述磁传感装置包括基底、导磁单元、感应单元、隔离单元；基底表面开有沟槽；导磁单元的主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号后能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；感应单元包括第一磁材料层、电极层，导磁单元的磁材料与第一磁材料层部分断开（由隔离单元分隔），部分连接在一起。本发明可降低从感应单元流向导磁单元电流的比例，降低OFF‑SET，同时导磁单元采集的Z轴磁信号能高效地送入感应单元进行测试，综合性能具有竞争力。

主权项

一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：‑基底，其表面开有沟槽；‑导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；‑感应单元，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述感应单元包括第一磁材料层、电极层，所述导磁单元、第一磁材料层部分由隔离单元断开，部分连接在一起；所述电极层包括平行设置的若干电极，所述导磁单元靠近各电极的一侧设有若干隔离通孔，隔离通孔贴近对应的电极设置，隔离通孔恰好将电极与导磁单元部分或者完全分隔开；所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号；第一方向、第二方向相互垂直。