[发明专利]手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置

摘要

本发明涉及机械手技术领域，提供了一种手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置。其中机械手包括：设有机械手指（11）的手指单元（10）；固定设置有轴承的连杆（20）；其中一个轴承与一个手指单元（10）固定连接，其余的手指单元（10）的后端一侧开设有沿机械手指方向的槽（40），轴承嵌入槽（40）内并可移动组成曲柄滑块机构；手指单元（10）的后端另一侧设有导轨（60），导轨（60）沿竖直方向设置，手指单元（10）通过滑块（50）沿导轨（60）运动；其中一个手指单元（10）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕与一个手指单元（10）固定连接的轴承转动，带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。本发明实现了对机械手指间距的有效调节。

主权项

一种手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述机械手包括：至少2个手指单元（10），每一手指单元（10）设有一机械手指（11）；一连杆（20），所述连杆（20）上固定设置有与手指单元（10）一一对应的轴承；其中一个轴承与一个手指单元（10）固定连接，其余的手指单元（10）的后端一侧开设有沿机械手指方向的槽（40），其余轴承嵌入槽（40）内并可在槽（40）内沿机械手指（11）方向移动，连杆（20）、轴承和槽（40）组成曲柄滑块机构；所述手指单元（10）的后端另一侧设有导轨（60），导轨（60）沿竖直方向设置且与机械手指（11）方向垂直，手指单元（10）的后端另一侧固定有滑块（50），手指单元（10）通过滑块（50）沿导轨（60）运动；其中一个手指单元（10）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕所述与一个手指单元（10）固定连接的轴承转动，通过所述曲柄滑块机构带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。