[发明专利]抗蚀膜剥离剂在审

专利信息
申请号: 201310453055.3 申请日: 2013-09-27
公开(公告)号: CN103543618A 公开(公告)日: 2014-01-29
发明(设计)人: 杨桂望 申请(专利权)人: 杨桂望
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42;C07D235/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提供了一种新型的抗蚀膜剥离剂,其包括N-乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。其在剥离用于布图电子电路或显示元件金属布线的抗蚀膜的过程中,不腐蚀金属布线,特别是不腐蚀铝(aluminum)、钼(molybdenum)、铜(copper)、钛(titanium)等金属,且具有优秀的抗蚀膜剥离性的抗蚀膜剥离剂组合物。
搜索关键词: 抗蚀膜 剥离
【主权项】:
一种新型的抗蚀膜剥离剂,其特征在于:包括N‑乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。 
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