[发明专利]抗蚀膜剥离剂在审
申请号: | 201310453055.3 | 申请日: | 2013-09-27 |
公开(公告)号: | CN103543618A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 杨桂望 | 申请(专利权)人: | 杨桂望 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42;C07D235/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供了一种新型的抗蚀膜剥离剂,其包括N-乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。其在剥离用于布图电子电路或显示元件金属布线的抗蚀膜的过程中,不腐蚀金属布线,特别是不腐蚀铝(aluminum)、钼(molybdenum)、铜(copper)、钛(titanium)等金属,且具有优秀的抗蚀膜剥离性的抗蚀膜剥离剂组合物。 | ||
搜索关键词: | 抗蚀膜 剥离 | ||
【主权项】:
一种新型的抗蚀膜剥离剂,其特征在于:包括N‑乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。
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