[发明专利]含金属掺杂的类金刚石厚膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201310453284.5 | 申请日： | 2013-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103510046A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 钱涛;赵德民;乐务时 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含金属掺杂的类金刚石厚膜，包含基材、结合层、掺杂层和功能层，所述掺杂层和功能层结合形成一复合层，所述基材的上表面设有结合层，所述结合层的上表面设有依次叠加的复合层且所述掺杂层和功能层间隔设置，所述结合层与复合层中的掺杂层结合，所述类金刚石厚膜的厚度大于4µm。本发明的有益效果主要体现在：在纯DLC膜中掺杂数层纳米级含金属类金刚石（例如：含钨类金刚石DLC-W）结构，充分缓解DLC膜本身的内应力，同时也有效地增加了膜层与基材之间的结合力，使膜层厚度可超过10µm，并具有100N以上的划痕结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掺杂 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：包含基材（1）、结合层（2）、掺杂层（3）和功能层（4），所述掺杂层（3）和功能层（4）结合形成一复合层，所述基材（1）的上表面设有结合层（2），所述结合层（2）的上表面设有依次叠加的复合层且所述掺杂层（3）和功能层（4）间隔设置，所述结合层（2）与复合层中的掺杂层（3）结合，所述类金刚石厚膜的厚度大于4µm。
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