[发明专利]多功能晶体生长炉无效
| 申请号： | 201310453472.8 | 申请日： | 2013-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103526300A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 张海林;崔慧敏;臧一平 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B11/00 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多功能晶体生长炉，包括机架、坩埚平移机构、坩埚组成、加热炉平移机构、加热炉；其中坩埚平移机构固定在机架一端，加热炉平移机构固定在机架另一端；坩埚组成与坩埚平移机构固定连接，加热炉与平移炉升降机构固定连接；加热炉为中空炉膛，坩埚组成位于炉膛内；其优点在于所述述多功能晶体生长炉将加热炉移动与坩埚移动有机的进行了结合，可以实现VB、VGF两种工艺的三种实现方法和一种组合工艺方法。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 晶体生长 | ||
【主权项】：
一种多功能晶体生长炉，其特征在于它包括机架、坩埚平移机构、坩埚组成、加热炉平移机构、加热炉；其中坩埚平移机构固定在机架一端，加热炉平移机构固定在机架另一端；坩埚组成与坩埚平移机构固定连接，加热炉与平移炉升降机构固定连接；加热炉为中空炉膛，坩埚组成位于炉膛内。
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