[发明专利]多层陶瓷的膜厚测定方法无效
| 申请号： | 201310455351.7 | 申请日： | 2013-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103776382A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 大竹秀幸;高柳顺 | 申请（专利权）人： | 爱信精机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 金相允;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜厚测定方法，能够以非接触且无破坏地测定多层陶瓷所包含的各层的膜厚。检查装置（1）具备：光学装置（2），向具有多层陶瓷的试样（3）照射太赫兹波，并且检测反射波；锁定放大器（4），对反射波的检测信号进行同步放大；以及控制装置（5），对光学装置（2）进行控制。若向试样（3）射入太赫兹波，则在多层陶瓷的各个边界面上产生反射。结果，在试样（3）上反射的太赫兹波的时间波形中，各边界面上的反射波作为峰值而出现。该时间波形中的峰值间的时间差反映膜厚，因此根据这些峰值间的时间差来运算膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 陶瓷 测定 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚测定方法，包括如下工序：产生太赫兹波；将所述太赫兹波照射到具有两个以上陶瓷层的多层陶瓷上；获得由所述多层陶瓷反射的所述太赫兹波的时间波形；以及根据所述时间波形，测定所述陶瓷层的膜厚。
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