[发明专利]一种引线框架的制作方法有效
申请号: | 201310455710.9 | 申请日: | 2013-09-28 |
公开(公告)号: | CN103531486A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 黎超丰;邓道斌;郑康定;李昌文;林海见 | 申请(专利权)人: | 宁波康强电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人: | 李迎春 |
地址: | 315105 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种引线框架的制作方法,它以矩形的铜合金片为基材,包括以下步骤:半蚀刻,使在铜合金片基材正面形成呈矩阵排列的圆形凸台;对根据预制作的集成电路元件中芯片的大小及需要焊引线的数量所涉及到的圆形凸台进行表面电镀;对蚀刻区进行塑封;对塑封区下面的区域从背面进行蚀刻并蚀穿;对蚀刻区进行绝缘;切割成型。该方法可以用于制作不同尺寸的引线框架,且成本低、适用范围广。 | ||
搜索关键词: | 一种 引线 框架 制作方法 | ||
【主权项】:
一种引线框架的制作方法,以矩形的铜合金片为基材,其特征在于包括以下步骤:(1)半蚀刻:对铜合金片基材正面进行半蚀刻,使在铜合金片基材正面形成呈矩阵排列的圆形凸台,圆形凸台的截面圆直径为0.25‑0.35mm、相邻圆形凸台同一水平面的截面圆的圆心距为0.5mm;(2)电镀:对根据预制作的集成电路元件中芯片的大小及需要焊引线的数量所涉及到的圆形凸台进行表面电镀,电镀金属为银或镍钯金;(3)塑封:对步骤(1)中半蚀刻形成的蚀刻区进行塑封,塑封的材料为环氧树脂;(4)背面蚀刻:对铜合金片基材上塑封区下面的区域从背面进行蚀刻并蚀穿,使铜合金片基材形成若干个呈矩阵排列的圆柱形台;(5)绝缘:对步骤(4)中蚀刻形成的蚀刻区进行绝缘,绝缘的材料为绿油;(6)切割成型:根据使用需要进行切割,形成包括一个或多个呈矩阵排列的功能单元的引线框架。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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