[发明专利]一种基于板级功能基板的封装工艺及封装结构在审
申请号: | 201310457012.2 | 申请日: | 2013-09-29 |
公开(公告)号: | CN103646880A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 郭学平;于中尧;谢慧琴 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/498 |
代理公司: | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人: | 王爱伟 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于板级功能基板的封装工艺及封装结构,所述封装工艺其包括,形成次级封装组件;自所述次级封装组件的第一主面和第二主面对应所述凸点进行盲孔开窗口并钻盲孔至所述凸点处;在所述次级封装组件上开设通孔,所述通孔贯穿所述次级封装组件;在所述盲孔以及所述通孔内进行化金属作为种子层,然后进行填孔电镀;进行第一外层线路层的制作。本发明在一定程度上解决了该封装技术在后期量产中所预期遇到的问题,进一步推进了该技术产业化。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 功能 封装 工艺 结构 | ||
【主权项】:
一种基于板级功能基板的封装工艺,其特征在于:包括,提供两个初级封装组件,每个初级封装组件其一侧形成有单面线路图形,所述单面线路图形包括凸点,且与待封装的芯片的主侧的图形位置相对应,所述芯片的主侧安装于所述凸点上;将两个初级封装组件相向的压合形成次级封装组件,压合后两个初级封装组件中的两个有机基板夹持安装于所述有机基板上的芯片,所述次级封装组件具有第一主面和与第一主面相对的第二主面;自所述次级封装组件的第一主面和第二主面对应所述凸点进行盲孔开窗口并钻盲孔至所述凸点处;在所述次级封装组件上开设通孔,所述通孔贯穿所述次级封装组件;在所述盲孔以及所述通孔内进行化金属作为种子层,然后进行填孔电镀;进行第一外层线路层的制作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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