[发明专利]一种用于超大拼接平台的台面支撑装置

摘要

本发明公开了一种用于超大拼接平台的台面支撑装置，针对拼接平台的每块子平台均设置有6个可调支撑高度的支撑足，6个支撑足分为主动支撑足和辅助支撑足两组支撑，每组支撑中支撑足呈等边三角形布局，两个三角形以等腰线为对称线镜像设置组成正方形；主动支撑足保持并主动调整子平台的水平度，辅助支撑足辅助承托子平台的重量，主动支撑足和辅助支撑足均为闭环控制。本发明的闭环微调主动支撑足能快速的调整平台台面的水平，力感知辅助支撑足能够分担子平台的重力，同时能有效克服子平台台面自身重量和载重变化而产生的形变。该装置采用闭环控制自动化程度高，能够快速调整子平台台面的水平，从而保证拼接平台的水平精度要求。

主权项

一种用于超大拼接平台的台面支撑装置，其特征在于，针对拼接平台的每块子平台均设置有6个可调支撑高度的支撑足，6个支撑足分为主动支撑足和辅助支撑足两组支撑，每组支撑中支撑足呈等边三角形布局，两个三角形以等腰线为对称线镜像设置组成正方形，两个三角形的中心重合且与子平台的重心在同一垂直线上；主动支撑足保持并主动调整子平台的水平度，辅助支撑足辅助承托子平台的重量，主动支撑足和辅助支撑足均为闭环控制，所述支撑子系统设置有与支撑足配合的独立控制单元；主动支撑足的支撑点位于子平台研磨时的支撑点上。