[发明专利]一种镜头组安装组件以及具有该组件的光学测量系统有效
申请号: | 201310461764.6 | 申请日: | 2013-09-30 |
公开(公告)号: | CN104516082B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 马涛;陈星;高海军;刘军凯 | 申请(专利权)人: | 睿励科学仪器(上海)有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G02B7/182 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 郑立柱 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种镜头组安装组件,其包括基座;定位光路镜头组,其安装到基座上,用于定位位于基座的底部下方的待测元件的共焦面;至少两个检测光路镜头组,均安装到基座上,用于不同光路的检测;可观测光路镜头组,其安装到基座上内,当至少两个检测光路镜头组的一个检测待测元件时,通过可观测光路镜头组,由检测光路镜头组的成像是可观测的;其中,至少两个检测光路镜头组和可观测光路镜头组的焦点是相同的并且限定在共焦面上。本发明避免了运动平台的繁复动作和重复定位,提高了系统可靠性和稳定性;通过实现多路并行测量,也提高了测量效率,从而降低了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 镜头 安装 组件 以及 具有 光学 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种镜头组安装组件,其包括:基座;定位光路镜头组,其安装到所述基座上,用于定位位于所述基座下方的待测元件的共焦面;至少两个检测光路镜头组,均安装到所述基座上,用于不同光路的检测;可观测光路镜头组,其安装到所述基座上,当所述至少两个检测光路镜头组的一个检测所述待测元件时,通过所述可观测光路镜头组,由所述检测光路镜头组的成像是可观测的;其中,所述至少两个检测光路镜头组和所述可观测光路镜头组的焦点是相同的并且限定在所述共焦面上,每个所述检测光路镜头组包括入射镜头组和反射镜头组,所述入射镜头组和所述反射镜头组被布置成所述入射镜头组的光轴和所述反射镜头组的光轴相对于与所述共焦面垂直并经过所述焦点的直线对称。
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