[发明专利]真空蒸发装置有效
申请号: | 201310463790.2 | 申请日: | 2013-10-08 |
公开(公告)号: | CN104046944B | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 李英昱;韩政洹 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;杨莘 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种真空蒸发装置包括:驱动单元;线性移动部,连接至所述驱动单元以线性移动;旋转移动部,连接至所述线性移动部以旋转移动;以及遮板部,连接至所述旋转移动部以枢转。 | ||
搜索关键词: | 真空 蒸发 装置 | ||
【主权项】:
1.一种真空蒸发装置,包括:驱动单元;线性移动部,连接至所述驱动单元以线性移动;旋转移动部,直接连接至所述线性移动部以旋转移动;以及遮板部,连接至所述旋转移动部以枢转;其中,所述线性移动部包括:移动部,与所述驱动单元连接以线性移动;传递部,与所述移动部连接;以及移动块,与所述传递部连接,从而与所述移动部一起线性移动;以及其中,所述线性移动部的所述移动块与所述旋转移动部直接连接,从而在所述移动块向上或向下进行所述线性移动时,使所述旋转移动部相应旋转。
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