[发明专利]真空蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201310463790.2 申请日: 2013-10-08
公开(公告)号: CN104046944B 公开(公告)日: 2018-11-09
发明(设计)人: 李英昱;韩政洹 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 余朦;杨莘
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 一种真空蒸发装置包括:驱动单元;线性移动部,连接至所述驱动单元以线性移动;旋转移动部,连接至所述线性移动部以旋转移动;以及遮板部,连接至所述旋转移动部以枢转。
搜索关键词: 真空 蒸发 装置
【主权项】:
1.一种真空蒸发装置,包括:驱动单元;线性移动部,连接至所述驱动单元以线性移动;旋转移动部,直接连接至所述线性移动部以旋转移动;以及遮板部,连接至所述旋转移动部以枢转;其中,所述线性移动部包括:移动部,与所述驱动单元连接以线性移动;传递部,与所述移动部连接;以及移动块,与所述传递部连接,从而与所述移动部一起线性移动;以及其中,所述线性移动部的所述移动块与所述旋转移动部直接连接,从而在所述移动块向上或向下进行所述线性移动时,使所述旋转移动部相应旋转。
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