[发明专利]焊料印刷机及焊料印刷机的掩模的污浊检查方法

摘要

本发明的目的在于提供一种焊料印刷机及焊料印刷机的掩模的污浊检查方法，即使在掩模的表面具有划痕的情况下，也能够进行高精度的掩模的污浊检查。将掩模（5）的包含图案孔（5a）在内的区域作为检查部位（S），通过在从相对于掩模孔的第一方向对该检查部位进行照明的状态下对检查部位进行拍摄，从而取得可将附着于图案孔周围的焊料（Hd）及该焊料的内部区域与其它区域区别开的第一图像（GZ1），并且在与从相对于掩模的所述第一方向不同的第二方向进行照明的状态下对检查部位进行拍摄，从而取得可将检查部位内的焊料的区域与其它区域区别开的第二图像（GZ2）。而且，通过取得将两图像（GZ1、GZ2）叠加的叠加图像（GZ3），检测掩模的焊料的状态。

主权项

一种焊料印刷机，通过使具有图案孔的掩模与基板接触，并且使涂刷器在所述掩模上滑动而将所述掩模上的焊料刮拢在一起，由此，经由所述图案孔将所述焊料转印到所述基板上之后，使所述基板从所述掩模分离，在所述基板上印刷所述焊料，其特征在于，具备：第一照明装置，其将在所述基板上印刷了所述焊料后的所述掩模的包含所述图案孔在内的区域作为检查部位，从相对于所述掩模的第一方向对该检查部位进行照明；第二照明装置，其从第二方向对所述检查部位进行照明，该第二方向自相对于所述掩模的第一方向保持倾斜；摄像装置，其通过在由所述第一照明装置将所述检查部位照明的状态下对所述检查部位进行拍摄，从而取得可将附着于所述检查部位内的所述图案孔周围的焊料及该焊料的内部区域与其它的区域区别开的第一图像，并且通过在由所述第二照明装置将所述检查部位照明的状态下对所述检查部位进行拍摄，从而取得可将所述检查部位内的焊料的区域与其它区域区别开的第二图像；焊料状态检测装置，其通过取得将基于所述摄像装置的拍摄而取得的所述第一图像和所述第二图像叠加的叠加图像，由此，检测所述掩模的焊料的状态。