[发明专利]一种大数值孔径的投影光学系统有效
| 申请号： | 201310470645.7 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103499877A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 邓超;邢廷文;廖志远;朱红伟;杨雄;白瑜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;顾炜 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大数值孔径的投影光学系统，用于将物平面上的图案经过一定比例的缩放后投射到像平面上，所述的投影光学系统从物面到像面依次有五个镜组，其中，第一个镜组为平板玻璃，它充当系统的保护玻璃；第二个镜组为纯折射镜组，它的作用是将物平面上的图案投射到第一中间像平面上；第三个镜组包含了至少一个凹面反射镜，它的作用是将第一中间像平面上的图案投射到第二中间像平面上；第四镜组和第五镜组都为纯折射镜组，它们的作用是将第二中间像平面上的图案投射到像平面上。采用本发明的浸没式投影光学系统，除了可实现数值孔径大于1之外，能有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数值孔径 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种大数值孔径的投影光学系统，用于将位于物平面的图案投影到像平面上，所述大数值孔径的投影光学系统包括第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第三反射镜组（G3）、第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5），其特征在于：从光束入射方向的第一透镜组（G1）没有光焦度，第二透镜组（G2）具有正光焦度，第三反射镜组（G3）具有负光焦度，第四透镜组（G4）具有正光焦度，第五透镜组（G5）具有正光焦度，所述大数值孔径的投影光学系统包含了25片透镜和两片反射镜，且包含有非球面表面。
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