[发明专利]MEMS器件和制造MEMS器件的方法有效
| 申请号： | 201310471850.5 | 申请日： | 2013-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103818872A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | C.阿伦斯;A.德赫;B.克诺特;S.平德尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马丽娜;马永利 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | MEMS器件和制造MEMS器件的方法。公开了一种用于制造MEMS器件的方法。此外，公开了MEMS器件和包括该MEMS器件的模块。实施例包括一种用于制造MEMS器件的方法，包括在基板的第一主表面上形成MEMS堆叠、在基板的第二主表面上形成聚合物层并在聚合物层和基板中形成第一开口，使得第一开口邻接MEMS堆叠。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造MEMS器件的方法，该方法包括：在基板的第一主表面上形成MEMS堆叠；在基板的第二主表面上形成聚合物层；以及在聚合物层和基板上形成第一开口，使得第一开口邻接MEMS堆叠。
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