[发明专利]狭小缝隙直线度与平面度的测量方法有效
| 申请号： | 201310477346.6 | 申请日： | 2013-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN104567748B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘晶;张拥军;徐瀛杰 | 申请（专利权）人： | 上海金艺检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人： | 张恒康 |
| 地址： | 201900 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种狭小缝隙直线度与平面度的测量方法，本方法中辅助装置的测量端子设于阶梯测量块的上平面，阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm，阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。将阶梯测量块安插于狭缝中，阶梯测量块下平面与狭缝测量面接触、阶梯面抵靠狭缝外端面，标靶安放于圆环形测量端子上；采用光学测量设备采集标靶参数，阶梯测量块沿狭缝端面滑动，通过光学测量设备分别采集标靶在狭缝测量面各测点的参数；通过光学测量设备得到狭缝测量面的直线度、平面度数据。本方法方便实现狭小缝隙参数的精确测量，克服了传统狭缝测量方式的缺陷，提高测量精度和效率，保证狭缝类设备可靠运行。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 狭缝 平面度 光学测量设备 狭小缝隙 直线度 标靶 测量端子 测量面 下平面 采集 中辅助装置 可靠运行 安插 滑动 垂直度 阶梯面 上平面 外端面 圆环形 测点 保证 | ||
【主权项】：
1.一种狭小缝隙直线度与平面度的测量方法，其特征在于本测量方法包括如下步骤：步骤一、制作辅助装置，辅助装置包括阶梯测量块和圆环形测量端子，所述测量端子设于所述阶梯测量块的上平面，所述阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm，所述阶梯测量块的阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm；将辅助装置的阶梯测量块安插于狭缝中，阶梯测量块的下平面与狭缝所需测量的平面相接触，阶梯测量块的阶梯面抵靠于狭缝外端面，将光学测量设备的标靶安放于圆环形测量端子上；步骤二、通过光学测量设备采集标靶的参数，将阶梯测量块沿狭缝端面滑动并阶梯面紧贴狭缝端面，通过光学测量设备分别采集标靶在狭缝测量面各测点的参数，以完成狭缝测量面各测点数据采集；步骤三、通过光学测量设备对采集的狭缝测量面各测点数据进行模拟、分析和计算，得到狭缝测量面的直线度、平面度数据。
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