[发明专利]石英谐振元件

摘要

本发明公开了一种石英谐振元件，包括基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽由两侧平行的深凹槽和位于两个深凹槽之间且与两个深凹槽连为一体的浅凹槽构成。在凹槽的内壁以及谐振梁的两侧壁上分别覆盖有电极，两根谐振梁通过与激励电源不同极性的连接使之振动方向相反。本石英谐振元件通过设置深凹槽，增加凹槽的侧壁陡直度，激励电极对之间的作用距离更短，谐振梁内的场强增大，电极的激励效率提高，适于谐振器微型化制作。此外，设置深凹槽后，单个谐振梁左右两端的对称性得到有效提升，左右两个谐振梁为反向振动，谐振元件谐振的稳定性增强。

主权项

一种石英谐振元件，包括基部（2）和具有相同结构且工作于宽度弯曲谐振模态的两平行的谐振梁（3），两谐振梁（3）的一端与基部连接，其特征在于：所述谐振梁（3）的正面和背面中至少有一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与谐振梁（3）的振动方向垂直；所述凹槽由两侧平行的深凹槽（4a）和位于两个深凹槽（4a）之间且与两个深凹槽连为一体的浅凹槽（4b）构成；在凹槽的内壁以及谐振梁（3）的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极，两根谐振梁（3）通过与激励电源不同极性的连接使之振动方向相反，其中深凹槽底面及两侧壁覆盖电极，浅凹槽只在底面左右两端覆盖彼此断开的电极，深凹槽上的电极与浅凹槽底面对应端上的电极连为一体。