[发明专利]一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置，以解决现有氧化物薄膜晶体管沟道长度过大，影响薄膜晶体管性能的问题。本发明中薄膜晶体管包括有源层，覆盖于所述有源层之上的刻蚀阻挡层，以及位于所述刻蚀阻挡层之上的源电极和漏电极，所述刻蚀阻挡层具有一过孔，所述过孔侧壁暴露刻蚀阻挡层侧断面，所述过孔底面暴露有源层表面；源电极和漏电极分别覆盖过孔暴露的刻蚀阻挡层不同部分的侧断面，并且源电极覆盖过孔底面暴露的有源层的第一表面区域，漏电极覆盖过孔底面暴露的有源层的第二表面区域，第一表面区域与第二表面区域之间不重叠。通过本发明减小了薄膜晶体管的沟道长度，提高了薄膜晶体管的性能。

主权项

一种薄膜晶体管，其特征在于，包括有源层，覆盖于所述有源层之上的刻蚀阻挡层，以及位于所述刻蚀阻挡层之上的源电极和漏电极，其中，所述刻蚀阻挡层具有一过孔，所述过孔侧壁暴露刻蚀阻挡层侧断面，所述过孔底面暴露有源层表面；所述源电极覆盖所述过孔侧壁暴露的所述刻蚀阻挡层的第一侧断面、以及所述过孔底面暴露的所述有源层的第一表面区域；所述漏电极覆盖所述过孔侧壁暴露的所述刻蚀阻挡层的第二侧断面、以及所述过孔底面暴露的所述有源层的第二表面区域；所述第一侧断面与所述第二侧断面不重叠，所述第一表面区域与所述第二表面区域不重叠。