[发明专利]基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置有效

专利信息
申请号: 201310490437.3 申请日: 2013-10-19
公开(公告)号: CN103531517B 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 李先胜 申请(专利权)人: 深圳市鑫三力自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明适用芯片贴合玻璃制程用封装技术领域。本发明公开一种基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置,包括两个平行设置的吸嘴支架和与该吸嘴支架固定的固定杆,每个吸嘴支架的两端分别设有可移动的至少一个真空吸嘴,该真空吸嘴与真空机构连接。工作时,对于不同的规格的玻璃,通过适应调节每个真空吸嘴的位置,使之与玻璃大小相匹配。与现有技术相比,可以避免吸拾不同规格大小的玻璃时,更换拾起装置增加的工作量和调试的时间,该提高拾起装置适应不同的玻璃规格大小时调试的时间,进而提高生产效率。
搜索关键词: 基于 芯片 键合制程 贴合 玻璃 拾起 装置
【主权项】:
基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置,其特征在于:包括两个平行设置的吸嘴支架和与该吸嘴支架固定的固定杆,每个吸嘴支架的两端分别设有可移动的至少一个真空吸嘴,该真空吸嘴与真空机构连接;所述吸嘴支架位于固定杆的两侧分别设有条形固定槽,该固定槽截面呈倒凸字形,所述真空吸嘴包括呈凸环的本体,在该本体上套设有夹持块,该夹持块与本体之间设有使夹持块向本体下端移动的弹性部件,在所述夹持块上设有可转动的压杆,在该压杆的中部设有与凸环接触的直杆,在所述固定槽至少一个肩部设有卡齿,该卡齿与夹持块的下端面上设置的卡条配合。
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