[发明专利]基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置有效
申请号: | 201310490437.3 | 申请日: | 2013-10-19 |
公开(公告)号: | CN103531517B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 李先胜 | 申请(专利权)人: | 深圳市鑫三力自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明适用芯片贴合玻璃制程用封装技术领域。本发明公开一种基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置,包括两个平行设置的吸嘴支架和与该吸嘴支架固定的固定杆,每个吸嘴支架的两端分别设有可移动的至少一个真空吸嘴,该真空吸嘴与真空机构连接。工作时,对于不同的规格的玻璃,通过适应调节每个真空吸嘴的位置,使之与玻璃大小相匹配。与现有技术相比,可以避免吸拾不同规格大小的玻璃时,更换拾起装置增加的工作量和调试的时间,该提高拾起装置适应不同的玻璃规格大小时调试的时间,进而提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 基于 芯片 键合制程 贴合 玻璃 拾起 装置 | ||
【主权项】:
基于芯片键合制程芯片贴合玻璃拾起装置,其特征在于:包括两个平行设置的吸嘴支架和与该吸嘴支架固定的固定杆,每个吸嘴支架的两端分别设有可移动的至少一个真空吸嘴,该真空吸嘴与真空机构连接;所述吸嘴支架位于固定杆的两侧分别设有条形固定槽,该固定槽截面呈倒凸字形,所述真空吸嘴包括呈凸环的本体,在该本体上套设有夹持块,该夹持块与本体之间设有使夹持块向本体下端移动的弹性部件,在所述夹持块上设有可转动的压杆,在该压杆的中部设有与凸环接触的直杆,在所述固定槽至少一个肩部设有卡齿,该卡齿与夹持块的下端面上设置的卡条配合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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