[发明专利]一种透射电子显微镜样品的固定装置无效
| 申请号： | 201310491553.7 | 申请日： | 2013-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103531425A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 高林;史燕萍;陈强;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透射电子显微镜样品的固定装置，属于半导体制造装备技术领域。所述固定装置包括：用于承载样品的样品杆，弹片，还包括固定连接在所述样品杆上的弹簧螺丝，所述弹簧螺丝穿过所述弹片的第一端；所述弹簧螺丝具有锁紧状态以及释放状态，当该弹簧螺丝位于锁紧状态时，所述弹片的第二端抵靠在所述样品上；当该弹簧螺丝位于释放状态时，所述弹片与所述样品脱离。采用上述结构，通过手工操作弹簧螺丝即可实现样品的固定和取出。这种方法解决了螺丝固定过程中出现的滑丝问题，有效地缩短了透射电子显微镜样品固定与取出的时间，提高了透射电子显微镜的使用效率，延长了固定螺丝的使用寿命，并且降低了使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 电子显微镜 样品 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种透射电子显微镜样品的固定装置，包括：用于承载样品的样品杆，以及弹片，其特征在于，还包括固定连接在所述样品杆上的弹簧螺丝，所述弹簧螺丝穿过所述弹片的第一端；所述弹簧螺丝具有锁紧状态以及释放状态，当该弹簧螺丝位于锁紧状态时，所述弹片的第二端抵靠在所述样品上；当该弹簧螺丝位于释放状态时，所述弹片与所述样品脱离。
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