[发明专利]介质熔炼与初步定向凝固衔接提纯多晶硅的装置及方法有效
申请号: | 201310492077.0 | 申请日: | 2013-10-18 |
公开(公告)号: | CN103539125A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 张磊;谭毅;侯振海;刘瑶 | 申请(专利权)人: | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266234 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于多晶硅提纯领域,具体涉及一种介质熔炼与初步定向凝固衔接提纯多晶硅的装置及方法。装置炉体内的石墨坩埚侧壁外依次安装有炉衬和感应线圈,在石墨坩埚底部安装有水冷拉锭机构,且石墨坩埚和水冷拉锭机构都在炉衬包绕内,石墨坩埚顶部安装有与石墨坩埚内径和外径大小相同的补位石墨环。方法包括将硅料与渣剂反应进行介质熔炼,去除硅料中的硼杂质,介质熔炼结束后,采用底部水冷拉锭机构拉锭的方式,对硅液进行初步定向凝固,将硅液中的金属杂质聚集到顶部予以去除后,控制温度使硅锭完全熔化后倒出。全液态衔接介质熔炼与初步定向凝固,节省电耗1000~2000度/吨;生产成本降低4000~8000元/吨。铸锭中硼杂质含量小于0.3ppmw;金属杂质总含量少于100ppmw。 | ||
搜索关键词: | 介质 熔炼 初步 定向 凝固 衔接 提纯 多晶 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种介质熔炼与初步定向凝固衔接提纯多晶硅的装置,炉体内的石墨坩埚侧壁外依次安装有炉衬和感应线圈,其特征在于在石墨坩埚底部安装有水冷拉锭机构,且石墨坩埚和水冷拉锭机构都在炉衬包绕内,石墨坩埚顶部安装有与石墨坩埚内径和外径大小相同的补位石墨环。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司,未经青岛隆盛晶硅科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310492077.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。