[发明专利]一种柔性多结GaAs太阳电池及其制备方法

摘要

一种柔性多结GaAs太阳电池及其制备方法，属于半导体材料技术领域，先分别准备柔性衬底和同样键合金属的由底电池、中电池和顶电池构成的电池外延结构，并在顶电池外侧制作第一电池衬底；然后在电池外延结构的底电池背部，依次通过蒸镀Ti、Pt和Au层，将电池外延结构与布满整个聚酰亚胺涂层外表面的金属层键合；再在键合后的金属层表面沉积Si3N4，再采用碱性腐蚀液去除电池外延结构上的第一电池衬底；在电池外延结构的顶电池上完成两个上电极和减反射膜的制作；最后将制成的芯片采用光刻胶在第二衬底上粘结Si片，然后再以碱性腐蚀液去除第二衬底。制成器件整体为柔性的，可以在不同形状的表面进行应用，不易破碎。

主权项

柔性多结GaAs太阳电池太阳能电池，其特征在于包括柔性衬底、上电极、下电极和由底电池、中电池、顶电池构成的电池外延结构，所述柔性衬底设置在电池外延结构的底电池背面，所述下电极设置在柔性衬底的另一面，在电池外延结构的顶电池上面设置两个上电极，在所述两个上电极之间设置减反射膜。