[发明专利]一种光学测量平台在审
申请号: | 201310498592.X | 申请日: | 2013-10-22 |
公开(公告)号: | CN104567662A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 吴文镜;张塘;李成敏 | 申请(专利权)人: | 北京智朗芯光科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 100191 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种光学测量平台,属于光学测量技术领域。该测量平台包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构、承载机构和仪器安装机构。该测量平台具有仪器安装机构,该仪器安装机构可以用于安装不同的测量头,本发明提供的光学测量平台具有承载机构,该承载机构可以用于承载不同的待测样品。固定连接于该升降机构的承载机构由该升降机构带动能够分别沿XYZ三个方向移动,进而,使待测样品分别在XYZ三个方向移动从而到达待测位置。因此,该光学测量平台具有通用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 测量 平台 | ||
【主权项】:
一种光学测量平台,其特征在于,包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构、承载机构和仪器安装机构,所述固定连接件固定连接于所述底座,所述固定连接件上部设有X方向导向轨,所述固定连接件中心具有第一通孔;所述X方向移动平台下部能够与所述X方向导向轨构成X方向滑动副,所述X方向移动平台上部设有Y方向导向轨,所述X方向移动平台中心具有第二通孔;所述Y方向移动平台的下部能够与所述Y方向导向轨构成Y方向滑动副,所述Y方向移动平台中心具有第三通孔;所述限位板嵌合于所述第三通孔内,所述限位板中心具有第四通孔;所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔连通并形成容置空间,所述升降机构设置于所述容置空间内并受限于所述容置空间;所述承载机构固定连接于所述升降机构的顶部,用于承载待测样品;所述仪器安装机构用于安装测量头,所述测量头用于对所述待测样品进行测量。
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