[发明专利]一种传送带无效
| 申请号： | 201310503073.8 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103846805A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 | 申请（专利权）人： | 洛阳市鼎晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/00 | 分类号： | B24C1/00;B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 471003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种传送带，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其中在所述传送带的承载构件上设有网格，所述网格贯穿所述承载构件的承载面和与其相对的另一面，在所述传送带的下方设有粉尘收装置，所述传送带的网格能够允许散落于所述传送带上的金刚砂通过进入所述粉尘收集装置。本发明通过采用网状传送带运送硅片及在传送带的下方配置粉尘收集装置，可以随时对散落于传送带上硅片四周的金刚砂进行收集，再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传送带 | ||
【主权项】：
一种传送带，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其特征在于：在所述传送带的承载构件上设有网格，所述网格贯穿所述承载构件的承载面和与其相对的另一面，在所述传送带的下方设有粉尘收装置，所述传送带的网格能够允许散落于所述传送带上的金刚砂通过进入所述粉尘收集装置。
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