[发明专利]一种纳米压印机无效
| 申请号： | 201310507352.1 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103529644A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 王晶 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印机，包括真空腔（2）、安装在真空腔（2）内底部的高压仓（7）、高压仓（7）上依次设有调平装置（6）、加热盘（5）和载物台（4），载物台（4）上端还设有承压板（3）。本发明提供的纳米压印机充分利用高压仓内的压力气体保证压印模板压入平衡、均匀；通过调平装置可以保证压印模板和压印基板的平整性；本发明结构简单、成本低，适合推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 | ||
【主权项】：
一种纳米压印机，其特征在于：包括真空腔（2）、安装在真空腔（2）内底部的高压仓（7）、高压仓（7）上依次设有调平装置（6）、加热盘（5）和载物台（4），载物台（4）上端还设有承压板（3）。
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