[发明专利]光致生酸化合物和包含它的光致抗蚀剂组合物，包含光致抗蚀剂的涂覆制品及其制造方法

摘要

本发明涉及光致生酸化合物和包含它的光致抗蚀剂组合物，包含光致抗蚀剂的涂覆制品及其制造方法。本发明涉及一种式(I)的化合物：其中，a、x、X1、Y、Ar、R1和Z-如本文所定义。所述光致生酸剂化合物可用作光致抗蚀剂组合物的组分，其进而可用于制造制品的光刻方法。

主权项

1.一种式(I)的化合物：其中a是1-10的整数，x是1-3的整数，X¹包括氟代醇、氟化的酯或者氟化的酸酐，Y是单键、C_1-20亚烷基、O、S、NR、酯、碳酸酯、磺酸酯、砜或者磺酰胺，其中R是H或C_1-20烷基，并且其中C_1-20亚烷基在结构上仅有碳，或者C_1-20亚烷基中的一个或多个结构碳原子被氧、羰基、酯或者包括前述至少一种的组合所替换，Ar是取代或未取代的C₅或更高级的单环、多环或稠合多环环烷基；或者取代或未取代的C₅或更高级的单环、多环或稠合多环芳基；其中所述环烷基或芳基是碳环或包含杂原子，所述杂原子包括O、S、N、F或包括前述至少一种的组合，每个R¹分别独立地是取代的C_5-40芳基、取代的C_5-40杂芳基、C_1-40烷基、C_3-40环烷基，其中，当x是1时，两个基团R¹分离或相互连接形成C_4-40环结构，以及Z^-是羧酸酯、硫酸酯、磺酸酯、氨基磺酸酯、或者磺酰亚胺的阴离子，其中当Y是单键时，Z^-不是磺酸酯。