[发明专利]具有键合连接的微机械器件有效
| 申请号： | 201310516435.7 | 申请日： | 2013-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN103787258A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | H·斯特尔;C·迪恩;H-P·贝尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 微机械器件包括衬底和衬底上的第一氧化层，其中，第一氧化层具有穿通部。此外，所述器件具有能够导电的功能层，所述功能层在穿通部的区域中施加在第一氧化层上，并且所述器件包括金属层，所述金属层施加在功能层上以建立键合连接。在此，在功能层的侧面上施加有用于功能层绝缘的第二氧化层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 连接 微机 器件 | ||
【主权项】：
一种微机械器件（200），其具有：衬底（205）；所述衬底（205）上的第一氧化层（210），其中，所述第一氧化层（210）具有穿通部（215）；能够导电的功能层（225），其在所述穿通部的区域中施加在所述第一氧化层（210）上；金属层（255），其施加在所述功能层（225）上，以制造键合连接；其特征在于所述功能层（225）的侧面上的第二氧化层（245），其用于所述功能层（225）的绝缘。
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