[发明专利]多层矢量图形存储为曝光数据的方法及系统在审
| 申请号： | 201310520091.7 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN103529653A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;赵飞;李显杰 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 闫俊芬 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层矢量图形存储为曝光数据的方法，包括：将待曝光的多层矢量图形栅格化;将栅格化后的所述多层矢量图形数字化；将数字化后的所述多层矢量图形，利用八叉树分割法分割，对分割后的多层矢量图形数据，采用八叉树数据结构进行存储。相应地，本发明还公开了一种多层矢量图形存储为曝光数据的系统，本发明的有益效果为，本发明通过将多层矢量图形存储为曝光数据的方法及系统，解决了现有技术中由于多层矢量图形为多层，从而不能准确存储，进而无法准确光刻的问题，使人们可以低成本、高效地使用无掩模光刻技术。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 矢量 图形 存储 曝光 数据 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种多层矢量图形存储为曝光数据的方法，其特征在于，包括： 第1步，将待曝光的多层矢量图形栅格化； 第2步，将栅格化后的所述多层矢量图形数字化； 第3步，将数字化后的所述多层矢量图形，利用八叉树分割法分割，对分割后的多层矢量图形数据，采用八叉树数据结构进行存储。
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