[发明专利]一种提高极紫外辐射转换效率的方法及装置

摘要

本发明公开了极紫外光源中一种用于提高光源极紫外辐射转换效率同时抑制离子碎屑的方法；主要是将极紫外光源的等离子体极紫外光辐射结束剩余的带电粒子重新利用。主要实施方案为利用磁场将激发源与靶材作用后形成的上述所有带电粒子回转到激发源与靶材的作用点重新被作用。该方法由于重新利用了已经处于电离状态的离子，这些离子更容易被较低能量的激光进一步电离而达到能够辐射出极紫外光的价态；提高了激发源能量的利用率。光源极紫外辐射的转换效率将得到显著提升；由于这些带电粒子被重新利用，它们中的大部分将不再能够到达极紫外光源的系统元件。这将能够大大的减少这些粒子对光源系统元件的损伤，从而提升系统元件的使用寿命。

主权项

一种提升极紫外辐射转换效率的方法，其特征在于，包括下述步骤：S1：产生能够辐射极紫外光的等离子体；S2：在所述等离子体中带电粒子形成位置的周围施加第一磁场，所述带电粒子在所述第一磁场的作用下运动并返回至激发源与靶材的作用点，并被重新激发产生能够辐射极紫外光的等离子体；S3：在激发源与靶材的作用点处施加第二磁场，逸出所述第一磁场限制的所述带电粒子在所述第二磁场的作用下沿着偏离光学元件表面方向运动。