[发明专利]吸附反转装置

摘要

本发明是有关于一种可以极为简单的构造进行吸附板的上下动的吸附反转装置。吸附基板W并使其反转的吸附反转装置，具备由左右的侧架14支持的旋转轴15、呈水平地安装于旋转轴15并与旋转轴15一起旋动的支持构件16、通过下压构件17而保持于支持构件16成可上下动的水平的吸附板18、以及对该吸附板18随时以朝向上方的方式进行弹压的回弹弹簧19；且以如下的方式构成：借由使下压构件17动作而使吸附板18往下动，借由解除下压构件17下压之力、并借由回弹弹簧19的弹压力而使吸附板18上升并返回原位置。

主权项

一种吸附反转装置，是吸附基板并使其反转，其特征在于，具备：由左右的侧架所支持的旋转轴、呈水平地安装于该旋转轴并与旋转轴一起旋动的支持构件、通过下压构件而保持于该支持构件成能够上下动的水平的吸附板、以及对该吸附板随时以朝向上方的方式进行弹压的回弹弹簧；且以如下的方式形成：借由使该下压构件动作而使该吸附板往下动，借由解除该下压构件下压之力、且借由该回弹弹簧的弹压力而使该吸附板上升并返回原位置。