[发明专利]可光固化聚合物电介质及其制备方法和用途有效

专利信息
申请号: 201310529741.4 申请日: 2009-11-20
公开(公告)号: CN103560206A 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: J·奎因;颜河;郑焱;C·纽曼;S·A·克勒;A·法凯蒂;T·布赖纳 申请(专利权)人: 巴斯夫欧洲公司;破立纪元有限公司
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/00;H01L51/30
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 肖威;刘金辉
地址: 德国路*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 公开了基于聚合物的介电组合物(例如配制剂)以及材料(例如膜)和相关器件。该聚合物通常包括可光交联的侧基;例如,该聚合物可以包括一个或多个含香豆素的侧基。
搜索关键词: 光固化 聚合物 电介质 及其 制备 方法 用途
【主权项】:
一种薄膜晶体管器件,包含:介电层;半导体层;栅电极;源电极;和漏电极;其中所述介电层沉积在所述半导体层和所述栅电极之间;并且所述源电极和所述漏电极与所述半导体层接触,以及其中所述介电层包含聚合物薄膜,所述聚合物薄膜包含含有重复单元的聚合物,所述重复单元具有包含任选取代的香豆素‑6‑基结构部分的侧基。
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