[发明专利]靶材的制作方法在审
| 申请号： | 201310530633.9 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104593719A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张金林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的制作方法，包括：提供第一靶材坯料；对所述第一靶材坯料进行锻打，形成第二靶材坯料；对所述第二靶材坯料进行静压，形成第三靶材坯料；对所述第三靶材坯料进行压延，形成第四靶材坯料；对所述第四靶材坯料进行热处理，形成靶材。采用本发明的技术方案，可以节省现有技术中锻打后的第一热处理、静压后的第二热处理步骤，因此，简化了工艺流程、降低了生产成本、提高了生产效率。同时产品质量也得到保证。从而提高了溅镀速度、进而提高了基片上所镀膜层的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 制作方法 | ||
【主权项】：
一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供第一靶材坯料；对所述第一靶材坯料进行锻打，形成第二靶材坯料；对所述第二靶材坯料进行静压，形成第三靶材坯料；对所述第三靶材坯料进行压延，形成第四靶材坯料；对所述第四靶材坯料进行热处理，形成靶材。
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