[发明专利]一种可自动调位和聚焦的纳米膜厚测量仪无效

专利信息
申请号: 201310534878.9 申请日: 2013-11-04
公开(公告)号: CN103529544A 公开(公告)日: 2014-01-22
发明(设计)人: 刘剑平;刘焕宝;杜乐瑶;聂萍 申请(专利权)人: 山东理工大学
主分类号: G02B21/24 分类号: G02B21/24;G02B21/36;G01B11/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 255086 山东省淄博*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种纳米膜厚测量仪上的显微镜自动校正装置和显微镜自动调焦的方法的研究,属于纳米膜厚测量仪测量领域。此测量系统是通过控制步进电机进行定位,聚焦系统采用电动聚焦的方法,通过计算机对聚焦的微型马达进行控制。聚焦就是上下移动镜头,而显微镜自动校正则由步进电机控制滚珠丝杠前后左右移动实现定位。以某固定位置为起点,步进电机驱动显微镜以固定的步长移动,在运行每一步之后,取一定数量的图像,通过聚焦分析器对图像进行计算和分析,通过不同图像之间的比较获得聚焦最佳焦点的位置,以此类推,最终可获得最终聚焦位置。使油膜干涉图像清晰的反应在计算机上。
搜索关键词: 一种 自动 聚焦 纳米 测量仪
【主权项】:
一种纳米膜厚测量仪上的显微镜自动调焦的方法和显微镜自动校正装置,其特征在于:步进电机(1)通过高精度的滚珠丝杠控制上轨道左右移动,步进电机(2)通过高精度的滚珠丝杠控制下轨道前后移动,显微镜上的聚焦马达可自动的上下移动。
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