[发明专利]柔性卷曲导电衬底上制备单原子层厚度金属薄膜的方法有效
| 申请号： | 201310535381.9 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103556197A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;马强;訾威;朱学杰;刘晓静 | 申请（专利权）人： | 陕西师范大学 |
| 主分类号： | C25D7/06 | 分类号： | C25D7/06;C25D5/10;C25D5/56 |
| 代理公司： | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人： | 申忠才 |
| 地址： | 710062 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种柔性卷曲导电衬底上制备单原子层厚度金属薄膜的方法，由下述步骤组成：将柔性卷曲导电衬底放入制备器皿1中并连接到第一电极2，以惰性金属片作第二电极3，两电极间的距离为0.2～10cm，在制备器皿1中加入含待镀金属盐的沉积溶液，沉积液的加入量至浸没柔性卷曲导电衬底，调节pH值至2.0～7.5，加热不超过90℃，接通电源，调节两电极之间电压为-10～10V，在导电衬底上沉积一层金属薄膜或重复上述步骤在导电衬底上至少沉积一层金属薄膜或在导电衬底上交替沉积至少两种金属至少两层金属薄膜。本发明具有方法简单、所用的衬底可柔性卷曲、镀层为原子层等优点，可用于柔性卷曲导电衬底上沉积单原子层厚度金属薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 卷曲 导电 衬底 制备 原子 厚度 金属 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性卷曲导电衬底上制备单原子层厚度金属薄膜的方法，由下述步骤组成：将柔性卷曲导电衬底放入制备器皿1中并连接到第一电极2，以惰性金属片作第二电极3，两电极间的距离为0.2～10cm，在制备器皿1中加入含待镀金属盐的沉积溶液，沉积液的加入量至浸没柔性卷曲导电衬底，调节pH值至2.0～7.5，加热不超过90℃，接通电源，调节两电极之间电压为‑10～10V，在导电衬底上沉积一层金属薄膜或重复上述步骤在导电衬底上至少沉积一层金属薄膜或在导电衬底上交替沉积至少两种金属至少两层金属薄膜；上述的待镀金属为锰、铁、钴、镍、铜、锌、钼、钯、银、铂、金、铝、锡、铋中的任意一种，沉积溶液为含待镀金属盐的水溶液。
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