[发明专利]一种半导体多电学参数的自动化测试系统在审
| 申请号： | 201310539101.1 | 申请日： | 2013-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN104614654A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 胡志高;李旭瑞;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 200062 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体多电学参数的自动化测试系统，测试环境调控单元，其用以提供不同温度、磁场和光照的测试环境；信号测试单元，其用以测试在不同测试环境下被测样品的多种电学参数；主控单元，其控制测试环境调控单元调节测试环境，控制信号测试单元完成自动化测试以及处理分析上被测样品的各种电学特性参数。本发明能够自动化测试样品的多种电学参数，其具有很高测试精度与测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 电学 参数 自动化 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体多电学参数的自动化测试系统，其特征在于，包括：测试环境调控单元，其用以提供不同温度、磁场和光照的测试环境；信号测试单元，其用以测试在所述测试环境下被测样品的电输运参数；主控单元，其控制所述测试环境调控单元调节所述测试环境，控制所述信号测试单元完成自动化测试以及处理分析上所述被测样品的电输运参数。
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