[发明专利]温度监控装置及等离子体加工设备在审
| 申请号： | 201310547435.3 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104630735A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 吴昊 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种温度监控装置及等离子体加工设备，该温度监控装置中驱动单元驱动温度检测模块在反应腔室内移动，以使温度检测模块在移动的过程中分别检测被加热体不同区域的温度，并将检测到的温度发送到控制单元；控制单元根据温度检测模块发送而来的温度与预设标准温度进行比较，并在二者存在偏差时，校准加热单元对温度检测模块发送的温度所对应的检测区域的输出功率。本发明提供的温度监控装置，其可以提高被加热体的加热均匀性，从而可以提高工艺质量；而且可以使得操作过程简单，从而可以提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 监控 装置 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种温度监控装置，用于监控位于反应腔室内的被加热体的不同区域的温度以控制加热功率，其特征在于，所述温度监控装置包括加热单元、检测单元、驱动单元和控制单元，其中所述加热单元用于对所述被加热体的不同区域进行加热；所述检测单元包括温度检测模块，所述温度检测模块用于检测所述被加热体的不同区域内的温度，并将检测到的温度发送到所述控制单元；所述驱动单元用于驱动所述温度检测模块在所述反应腔室内移动，以使所述温度检测模块在移动的过程中分别检测所述被加热体不同区域的温度；所述控制单元用于根据所述温度检测模块发送而来的温度与预设标准温度进行比较，并在二者存在偏差时，校准所述加热单元对所述温度检测模块发送的温度所对应的检测区域的输出功率。
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