[发明专利]成膜装置无效
| 申请号： | 201310552626.9 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103805947A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 久保田绅治;森田治 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明能够避免相邻的蒸镀头彼此的蒸气的混入并且抑制排气效率的降低。本发明的成膜装置具备处理容器、搬运机构、多个蒸镀头、分隔壁和排气机构。处理容器区划出用于处理基板的处理室。搬运机构在处理室中，在沿着规定方向延伸的搬运路径上搬运基板。多个蒸镀头沿着规定方向配置于处理室，向由搬运机构在搬运路径上搬运的基板的成膜面喷射含有蒸镀材料的蒸气的气体。排气机构经由设置于各收纳室的排气口与各收纳室连接，对蒸镀头的周围进行排气。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，其特征在于，具备：处理容器，其区划出用于处理基板的处理室；搬运机构，其在所述处理室中，在沿着规定方向延伸的搬运路径上搬运所述基板；多个蒸镀头，其沿着所述规定方向配置于所述处理室，向由所述搬运机构在所述搬运路径上搬运的所述基板的成膜面喷射含有蒸镀材料的蒸气的气体；分隔壁，其以隔离各所述蒸镀头的方式立设于所述处理室，使所述搬运路径插通，并且将所述处理室分隔成收纳各所述蒸镀头的多个收纳室；和排气机构，其经由设置于各所述收纳室的排气口与各所述收纳室连接，对所述蒸镀头的周围进行排气。
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