[发明专利]膜处理装置有效
申请号: | 201310553220.2 | 申请日: | 2013-11-08 |
公开(公告)号: | CN104167367B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 洪东湖 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 李文颖;周艳玲 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了一种膜处理装置。根据本发明的一个方面,所提供的膜处理装置包括供给具有第一表面和第二表面的膜的膜供给单元、加工从膜供给单元供给的膜的膜加工单元、收集由膜加工单元加工后的膜的膜收集单元、支撑膜的第一表面并引导膜的移动的固定支撑单元以及在从膜的第一表面向膜的第二表面移动时对膜施加张力的移动支撑单元。 | ||
搜索关键词: | 处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种膜处理装置,包括:供给具有第一表面和第二表面的膜的膜供给单元;加工从所述膜供给单元供给的所述膜的膜加工单元;收集来自所述膜加工单元的所述膜的膜收集单元;支撑所述膜的所述第一表面或所述第二表面并引导所述膜的移动的固定支撑单元;和通过从所述膜的所述第一表面向所述膜的所述第二表面或者从所述膜的所述第二表面向所述膜的所述第一表面移动对所述膜施加张力的移动支撑单元,其中所述固定支撑单元包括在第一方向上与所述膜供给单元分离的第一固定辊、在不同于所述第一方向的第二方向上与所述第一固定辊分离的第二固定辊和在不同于所述第二方向的第三方向上与所述第二固定辊分离的第三固定辊,其中所述移动支撑单元包括设置在所述膜供给单元和所述第一固定辊之间的第一移动辊,其中连接所述膜供给单元和所述第一固定辊的第一线段被定义,并且其中所述第一移动辊移动越过所述第一线段。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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