[发明专利]一种真空沉积系统及其旋转馈入装置有效
| 申请号： | 201310557165.4 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103602956A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 何祝兵;苏奇聪;王春柱 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空沉积系统及其旋转馈入装置。真空沉积系统包括旋转馈入装置及真空腔室。旋转馈入装置安装于真空腔室的安装孔，其包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；第一固定组件的第一固定座上设有轴孔；第一动密封组件安装于轴孔中；传动轴绕自身轴向转动穿设第一动密封组件；第一直驱马达安装于第一固定组件。采用直驱马达作为动力源，第一直驱马达可直接驱动传动轴转动，其连接方式更加简捷，并使得整个旋转馈入装置的结构简捷轻巧，节约了整个装置的成本，且方便后期的设备安装维护；第一直驱马达的传动声音小、寿命长、控制精度更加准确，且工作时产生的振动小，可有效保证真空沉积系统的高精度、无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 沉积 系统 及其 旋转 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南方科技大学，未经南方科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310557165.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种弹簧软床垫和棕床垫耐久性试验机
- 下一篇：一种矩形平面磁控溅射阴极
- 同类专利
- 专利分类
