[发明专利]一种离子束采集系统与离子束采集方法有效
| 申请号： | 201310557474.1 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103794447A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王高腾 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子束采集系统与离子束采集方法，属于半导体制造领域。离子束采集系统包括：计算机、运动控制器、直流电机、移动法拉第，离子束采集方法包括离子束采集系统对离子束的等距均匀采集，通过计算机编制控制程序，由运动控制器控制直流电机带动移动法拉第运动，同时运动控制器根据直流电机运动产生等距离触发脉冲，实现运动控制器等距均匀采集离子束流的目的。本发明能够实现离子束流精确、均匀的采集。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 采集 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种离子束采集系统与离子束采集方法，包括计算机(1)与运动控制器(2)实现的控制策略与控制程序，直流电机(3)带动移动法拉第杯(4)采集离子束水平方向各点的束流大小，通过直流电机(3)每运动等距离，运动控制器(2)内部产生硬件触发脉冲，运动控制器(2)通过判断该硬件触发脉冲的上升沿，从而对进入移动法拉第杯(4)的束流进行采集。
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