[发明专利]一种电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置及加工方法

摘要

本发明涉及金属或非金属硬脆材料微孔内表面的抛光，是一种电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置及方法。将电泳辅助和超声加工复合在一起，电泳的吸附作用使微细磨粒吸附在工具附近，工具在溶液中的超声振动引起的正负液压冲击产生的挤压与泵吸作用，对微孔中的溶液进行扰动，以及超声空泡溃灭产生的冲击波，能够加剧溶液的扰动，从而使溶液中的超微磨粒相对于被加工表面运动达到对单微孔工件或群微孔工件抛光的目的。

主权项

一种电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置，包括超声加工机床，其特征在于，还包括工作液槽、电泳直流电源、工具、工作液、超微磨粒、微孔工件、电泳辅助圆形电极；所述超声加工机床包括主轴系统、进电系统、主轴超声纵振系统；所述电泳直流电源通过所述进电系统，其正极与工具连接，其负极与电泳辅助圆形电极连接；所述工具的端面应能覆盖所需抛光的微孔，且其与微孔工件的表面至少保持一个振幅的距离；所述超微磨粒分布在工作液中，超微磨粒的平均粒径小于1微米；所述微孔工件，其微孔直径小于等于50微米。