[发明专利]一种薄膜沉积设备及方法

摘要

本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述的薄膜沉积设备，包括接地电极板、多个激励电极板及加热电阻丝，所述接地电极板上装载有基板；所述多个激励电极板分别位于所述接地电极板两侧，所述加热电阻丝位于激励电极板表面上，通过控制接地电极板任一侧的激励电极板，将反应气体电离为等离子体，在激励电极板相对应的基板表面沉积薄膜。本发明能够将加热和沉积工序都整合到一个腔室中进行多个基板的薄膜沉积，大大的精简了设备和工艺流程，可以实现高产量、低成本的生产，且可选择性的在基板两面沉积薄膜，使沉积工序更加灵活和可操控。

主权项

一种薄膜沉积设备，其特征在于：包括接地电极板、多个激励电极板及加热电阻丝，所述接地电极板上装载有基板；所述多个激励电极板分别位于所述接地电极板两侧，所述加热电阻丝位于激励电极板表面上，通过控制接地电极板任一侧的激励电极板，将反应气体电离为等离子体，在激励电极板相对应的基板表面沉积薄膜。