[发明专利]用于真空蒸镀腔体的挡板驱动机构在审
| 申请号： | 201310562549.5 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104630714A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王钊;张斌;林信志;倪蔚德 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种挡板驱动机构，包括支撑座以及固定架设于所述支撑座上的折叠伸缩杠杆，所述折叠伸缩杠杆的第一端连接所述挡板，所述折叠伸缩杠杆的第二端连接一驱动装置；通过所述驱动装置驱动所述折叠伸缩杠杆的第二端沿一第一方向进行直线运动，驱使所述折叠伸缩杠杆发生折叠伸缩，进而带动所述折叠伸缩杠杆的第一端连同所述挡板沿一与所述第一方向相反的第二方向发生直线运动。折叠伸缩杠杆驱动的挡板做往复直线运动，这样可以避免和其他挡板的碰撞，并且直线运动的挡板可以有更大的行程，可以避免挡板阻挡蒸发材料的蒸发路径。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 蒸镀腔体 挡板 驱动 机构 | ||
【主权项】：
一种用于真空蒸镀腔体的挡板驱动机构，其特征在于包括支撑座以及固定架设于所述支撑座上的折叠伸缩杠杆，所述折叠伸缩杠杆的第一端连接挡板，所述折叠伸缩杠杆的第二端连接一驱动装置；通过所述驱动装置驱动所述折叠伸缩杠杆的第二端沿一第一方向进行直线运动，驱使所述折叠伸缩杠杆发生折叠伸缩，进而带动所述折叠伸缩杠杆的第一端连同所述挡板沿一与所述第一方向相反的第二方向发生直线运动。
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